1892 Entdeckung des Fotoeffekts (Elster & Geitsch)
1921-26 Experimenteller Nachweis der Elektronenbeugung (Davisson & Germer)
1953 Erstes Elektronenstrahlinterferometer mit analogem Aufbau zum
Mach-Zehnder-Interferometer
1960 Elektronenstrahlinterferometer an künstlich erzeugten Spalten (Jönsson)
1974 Interferenz von Neutronen an einem Silizium-Einkristall (Rauch, Treimer, Bonse)
1991 Interferenz von ganzen Helium- und Natrium-Atomen (Carnal & Mlynek, Keith et al.)
1999 Molekülinterferometer mit C60- und C70-Atomen (Arndt & Zeilinger)